概述 Edwards高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。 iH系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。 應(yīng)用 負(fù)載鎖 輸送 計量 平版印刷 PVD制程 PVD預(yù)清潔 RTA 剝離/灰化 刻蝕 植入源 HDPCVD RTP SACVD MCVD PECVD LPCVD ALD 功能和優(yōu)勢 優(yōu)化了設(shè)施消耗。 無需預(yù)防性維護。 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。 在節(jié)省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的CVD應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。 技術(shù)數(shù)據(jù) 峰值速度 600m3h-1 353cfm 10000lmin-1 極限真空 7x10-4mbar 5.3x10-4Torr 0.07Pa 典型軸封氮流量 4slm 進氣口連接 ISO100 出口連接 NW40 15psi壓降下典型冷卻水流量 240lh-1 4lmin-1 重量 415kg 極限功率輸入 3.4kW 電機額定功率 6.1kW 油容量 1.43l 峰值速度 103 m3h-1 61 cfm 1717lmin-1 極限真空 1 x10-2mbar 7.5 x10-3Torr 1 Pa 典型軸封氮流量 4slm 進氣口連接 ISO63 出口連接 NW40 15psi壓降下典型冷卻水流量 120lh-1 2lmin-1 重量 240kg 極限功率輸入 2.7kW 電機額定功率 3.5 kW 油容量 0.7l