概述 nXDS10i是下一代完全無油的干式渦旋泵，并取代XDS10。nXDS提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了最新的端部密封技術(shù)密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS可完全進(jìn)行現(xiàn)場維修。 用途 一般清潔泵送應(yīng)用 電子掃描顯微鏡-SEM 射束線和高能物理 前級渦輪泵 超高速離心機(jī) 覆層 低溫學(xué) 脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹脂 蒸餾/萃取/過濾 冷凍干燥 熔爐 凝膠體干燥 實(shí)驗(yàn)室工作臺上真空 激光、氣體回收和再循環(huán) 氦檢漏儀 負(fù)載鎖和傳輸腔 稀有氣體再循環(huán) 稀有氣體回收 冷凍制造 研發(fā) 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器 SEM/FIB（離子束維修） 溶劑回收 表面科學(xué)儀器 特性與優(yōu)勢 真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染 無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時間更長 簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計相結(jié)合，只需最低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時間 改進(jìn)了電機(jī)和傳動效率，可降低功耗和運(yùn)行成本 先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過USB、RS232或RS485實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視 技術(shù)數(shù)據(jù) 標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 1800rpm 排量 12.7m3h-1 / 7.5ft3min-1 峰值抽速 11.4m3h-1 / 6.7ft3min-1 極限真空（總壓力） 0.007mbar / 0.005Torr 最小待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 1200rpm 速度控制精度 （以全速百分比表示） 1% 最小轉(zhuǎn)速時的抽速 7.5 最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力 200mbar 電機(jī)功率（一相） 280W 電源連接器（1相） IECEN60320C13 推薦保險絲 10A，250Vacrms 重量 25.8kg / 57lb 入口法蘭 NW25 排氣口法蘭 NW25 噪音級別 52dB(A) 入口法蘭處抗振性 4.5mms-1 (rms) 密封性（靜態(tài)） 1x10-6mbarls-1 工作溫度范圍 10至40 C / 41至104 F