INFICONPEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰極濺射鍍膜工藝上。特點(diǎn)： 測量范圍廣：5X10-7～1Pa 全金屬冷陰極陶瓷傳感器 新型幾何電極提供了極好的點(diǎn)火性能 降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣 陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易 最小磁場強(qiáng)度測量 LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火 對數(shù)模擬輸出信號 Fieldbus總線接口（ProfibusDB,DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信