INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)MPG400和MPG401,測(cè)量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3.8x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.優(yōu)點(diǎn)：復(fù)合真空規(guī) 冷陰極與皮拉尼寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓無可燒毀的燈絲卓越的引燃功能易清洗FPM或金屬密封的饋入件高壓加上時(shí)LED指示燈亮對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)應(yīng)用：高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量一般真空測(cè)量和控制，從中至高真空范圍測(cè)量范圍(空氣,N2)毫巴(乇)5x10-9 1000(3.8x10-9 760)精度(N2)1x10-8 100毫巴%讀值 30%重復(fù)性1x10-8 100毫巴%讀值 5%安裝方向 任何允許壓強(qiáng)巴(絕對(duì)) 10(限于惰性氣體)允許溫度工作(室溫)貯存 烘烤1)燈絲溫度(皮拉尼) C C C C +5 +55 40 +65150120電源電壓 在規(guī)管上VDC+15 +30在供電單元上,最大電纜長(zhǎng)度2)VDC+16 +30紋波Vpp 1功耗W 2連接保險(xiǎn)絲AT 1輸出訊號(hào)(測(cè)量訊號(hào)) 電壓范圍V0 +10.5測(cè)量范圍V+1.82 +8.6電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系 對(duì)數(shù),0.6V/量級(jí)誤差訊號(hào)V 0.5(無電源) V 9.5(皮拉尼傳感器,燈絲斷裂)輸出阻抗?2x10最小負(fù)載阻抗k?10,短路保護(hù)響應(yīng)時(shí)間 p 10-6毫巴毫秒 10p=10-8毫巴毫秒 1000規(guī)管標(biāo)識(shí)k?85,參考電源公共點(diǎn)狀態(tài) 僅皮拉尼模式V0(低)復(fù)合皮拉尼/冷陰極模式V15 30(高)指示燈LED綠色高壓on電氣連接 FCC68設(shè)備連接件,8腳,凹型傳感器電纜 8芯,加屏蔽電纜長(zhǎng)度米 50(8x0.14毫米2)工作電壓千伏 3.3工作電流微安 500暴露于真空的材料 不銹鋼,Al2O3,FPM75, 不銹鋼,Al2O3,Ag,Cu,Sn Mo,Ni,Au,W Mo,Ni,Au,W內(nèi)容積厘米3 20重量 DN25ISO-KF克 700 730DN40ISO-KF克 720 750DN40CF-F克 980 1010保護(hù)級(jí)別 IP40標(biāo)準(zhǔn) EN61000-6-2,EN61000-6-3,EN61010-1